صاف کمرے میں درجہ حرارت اور ہوا کا دباؤ کنٹرول

ماحولیاتی تحفظ کو زیادہ سے زیادہ توجہ دی جاتی ہے ، خاص طور پر دوبد کے موسم میں اضافے کے ساتھ۔ کلین روم انجینئرنگ ماحولیاتی تحفظ کے اقدامات میں سے ایک ہے۔ ماحولیاتی تحفظ میں اچھی نوکری کرنے کے لئے کلین روم انجینئرنگ کا استعمال کیسے کریں؟ آئیے کلین روم انجینئرنگ میں کنٹرول کے بارے میں بات کرتے ہیں۔

صاف کمرے میں درجہ حرارت اور نمی کا کنٹرول

صاف ستھری جگہوں کا درجہ حرارت اور نمی بنیادی طور پر عمل کی ضروریات کی بنیاد پر طے کی جاتی ہے ، لیکن جب عمل کی ضروریات کو پورا کرتے ہیں تو ، انسانی راحت کو بھی مدنظر رکھنا چاہئے۔ ہوا کی صفائی ستھرائی کی ضروریات میں بہتری کے ساتھ ، درجہ حرارت اور نمی کے عمل میں سخت تقاضوں کا رجحان ہے۔

ایک عام اصول کے طور پر ، پروسیسنگ کی بڑھتی ہوئی صحت سے متعلق کی وجہ سے ، درجہ حرارت میں اتار چڑھاو کی حد کی ضروریات چھوٹی اور چھوٹی ہوتی جارہی ہیں۔ مثال کے طور پر ، بڑے پیمانے پر مربوط سرکٹ کی تیاری کے لتھوگرافی اور نمائش کے عمل میں ، ماسک مواد کے طور پر استعمال ہونے والے شیشے اور سلیکن ویفرز کے مابین تھرمل توسیع کے گتانک میں فرق بہت کم ہوتا جارہا ہے۔

جب درجہ حرارت 1 ڈگری تک بڑھتا ہے تو 100 μ m کے قطر کے ساتھ سلیکن ویفر 0.24 μ m کی لکیری توسیع کا سبب بنتا ہے۔ لہذا ، ± 0.1 of کا مستقل درجہ حرارت ضروری ہے ، اور نمی کی قیمت عام طور پر کم ہوتی ہے کیونکہ پسینے کے بعد ، مصنوعات کو آلودہ کیا جائے گا ، خاص طور پر سیمیکمڈکٹر ورکشاپس میں جو سوڈیم سے ڈرتے ہیں۔ اس قسم کی ورکشاپ 25 ℃ سے زیادہ نہیں ہونی چاہئے۔

ضرورت سے زیادہ نمی زیادہ پریشانیوں کا سبب بنتی ہے۔ جب نسبتا hum نمی 55 ٪ سے زیادہ ہوجائے تو ، ٹھنڈک پانی کی پائپ دیوار پر گاڑھاپن بن جائے گا۔ اگر یہ صحت سے متعلق آلات یا سرکٹس میں ہوتا ہے تو ، یہ مختلف حادثات کا سبب بن سکتا ہے۔ جب رشتہ دار نمی 50 ٪ ہے تو ، زنگ لگانا آسان ہے۔ اس کے علاوہ ، جب نمی بہت زیادہ ہوتی ہے تو ، سلیکن ویفر کی سطح پر قائم دھول کیمیائی طور پر ہوا میں پانی کے انووں کے ذریعہ سطح پر جذب ہوجائے گی ، جس کو دور کرنا مشکل ہے۔

نسبتا hum نمی جتنی زیادہ ہوگی ، آسنجن کو دور کرنا اتنا ہی مشکل ہے۔ تاہم ، جب نسبتا hum نمی 30 ٪ سے کم ہوتی ہے تو ، الیکٹرو اسٹاٹک فورس کی کارروائی کی وجہ سے ذرات بھی آسانی سے سطح پر جذب ہوجاتے ہیں ، اور سیمیکمڈکٹر آلات کی ایک بڑی تعداد خرابی کا شکار ہوتی ہے۔ سلیکن ویفر کی پیداوار کے لئے درجہ حرارت کی زیادہ سے زیادہ حد 35-45 ٪ ہے۔

ہوا کا دباؤکنٹرولصاف کمرے میں 

زیادہ تر صاف جگہوں کے ل extreme ، بیرونی آلودگی کو حملہ کرنے سے روکنے کے لئے ، بیرونی دباؤ (جامد دباؤ) سے زیادہ اندرونی دباؤ (جامد دباؤ) کو برقرار رکھنا ضروری ہے۔ دباؤ کے فرق کی بحالی کو عام طور پر درج ذیل اصولوں کی تعمیل کرنی چاہئے:

1. صاف جگہوں پر دباؤ غیر صاف جگہوں سے زیادہ ہونا چاہئے۔

2. صفائی کی اعلی سطح والی جگہوں میں دباؤ کم صفائی کی سطح والی ملحقہ جگہوں سے زیادہ ہونا چاہئے۔

3. صاف ستھرا کمروں کے مابین دروازوں کو صاف ستھرا سطح والے کمروں کی طرف کھولا جانا چاہئے۔

دباؤ کے فرق کی بحالی کا انحصار تازہ ہوا کی مقدار پر ہوتا ہے ، جو اس دباؤ کے فرق کے تحت خلا سے ہوا کے رساو کی تلافی کرنے کے قابل ہونا چاہئے۔ لہذا دباؤ کے فرق کا جسمانی معنی صاف کمرے میں مختلف خلیجوں کے ذریعے رساو (یا دراندازی) ہوا کے بہاؤ کی مزاحمت ہے۔