صاف کمرے میں درجہ حرارت اور ہوا کے دباؤ کا کنٹرول

ماحولیاتی تحفظ پر زیادہ سے زیادہ توجہ دی جاتی ہے، خاص طور پر کہرے کے موسم میں اضافہ کے ساتھ۔ صاف کمرے کی انجینئرنگ ماحولیاتی تحفظ کے اقدامات میں سے ایک ہے۔ ماحولیاتی تحفظ میں اچھا کام کرنے کے لیے کلین روم انجینئرنگ کا استعمال کیسے کریں؟ آئیے کلین روم انجینئرنگ میں کنٹرول کے بارے میں بات کرتے ہیں۔

صاف کمرے میں درجہ حرارت اور نمی کا کنٹرول

صاف جگہوں کے درجہ حرارت اور نمی کا تعین بنیادی طور پر عمل کی ضروریات کی بنیاد پر کیا جاتا ہے، لیکن عمل کی ضروریات کو پورا کرتے وقت، انسانی سکون کو مدنظر رکھا جانا چاہیے۔ ہوا کی صفائی کی ضروریات میں بہتری کے ساتھ، عمل میں درجہ حرارت اور نمی کے لیے سخت تقاضوں کا رجحان ہے۔

عام اصول کے طور پر، پروسیسنگ کی بڑھتی ہوئی درستگی کی وجہ سے، درجہ حرارت کے اتار چڑھاؤ کی حد کے لیے تقاضے چھوٹے سے چھوٹے ہوتے جا رہے ہیں۔ مثال کے طور پر، بڑے پیمانے پر مربوط سرکٹ کی پیداوار کے لیتھوگرافی اور نمائش کے عمل میں، ماسک مواد کے طور پر استعمال ہونے والے شیشے اور سلیکون ویفرز کے درمیان تھرمل ایکسپینشن گتانک میں فرق تیزی سے چھوٹا ہوتا جا رہا ہے۔

جب درجہ حرارت 1 ڈگری بڑھ جاتا ہے تو 100 μm کے قطر کے ساتھ ایک سلکان ویفر 0.24 μm کی لکیری توسیع کا سبب بنتا ہے۔ لہذا، ± 0.1 ℃ کا مستقل درجہ حرارت ضروری ہے، اور نمی کی قدر عام طور پر کم ہوتی ہے کیونکہ پسینہ آنے کے بعد، مصنوعات آلودہ ہو جائیں گی، خاص طور پر سیمی کنڈکٹر ورکشاپوں میں جو سوڈیم سے ڈرتے ہیں۔ اس قسم کی ورکشاپ 25℃ سے زیادہ نہیں ہونی چاہیے۔

زیادہ نمی زیادہ مسائل کا باعث بنتی ہے۔ جب رشتہ دار نمی 55% سے زیادہ ہو جائے گی، تو ٹھنڈک پانی کے پائپ کی دیوار پر گاڑھا پن بن جائے گا۔ اگر یہ درست آلات یا سرکٹس میں ہوتا ہے، تو یہ مختلف حادثات کا سبب بن سکتا ہے۔ جب رشتہ دار نمی 50٪ ہے، تو اسے زنگ لگنا آسان ہے۔ اس کے علاوہ، جب نمی بہت زیادہ ہوتی ہے، تو سلیکون ویفر کی سطح پر لگی دھول کیمیاوی طور پر ہوا میں پانی کے مالیکیولز کے ذریعے سطح پر جذب ہو جاتی ہے، جسے ہٹانا مشکل ہوتا ہے۔

رشتہ دار نمی جتنی زیادہ ہوگی، چپکنے کو ہٹانا اتنا ہی مشکل ہوگا۔ تاہم، جب رشتہ دار نمی 30% سے کم ہوتی ہے، تو الیکٹرو سٹیٹک قوت کے عمل کی وجہ سے ذرات بھی آسانی سے سطح پر جذب ہو جاتے ہیں، اور سیمی کنڈکٹر ڈیوائسز کی ایک بڑی تعداد ٹوٹ پھوٹ کا شکار ہوتی ہے۔ سلکان ویفر کی پیداوار کے لیے زیادہ سے زیادہ درجہ حرارت کی حد 35-45% ہے۔

ہوا کا دباؤکنٹرولصاف کمرے میں 

زیادہ تر صاف جگہوں کے لیے، بیرونی آلودگی کو حملہ آور ہونے سے روکنے کے لیے، بیرونی دباؤ (جامد دباؤ) سے زیادہ اندرونی دباؤ (جامد دباؤ) کو برقرار رکھنا ضروری ہے۔ دباؤ کے فرق کی بحالی کو عام طور پر درج ذیل اصولوں پر عمل کرنا چاہیے:

1. صاف جگہوں پر دباؤ غیر صاف جگہوں سے زیادہ ہونا چاہیے۔

2. اعلی صفائی کی سطح کے ساتھ خالی جگہوں میں دباؤ کم صفائی کی سطح کے ساتھ ملحقہ خالی جگہوں سے زیادہ ہونا چاہئے.

3. صاف کمروں کے درمیان کے دروازے ان کمروں کی طرف کھولے جائیں جہاں صفائی کی اعلی سطح ہو۔

دباؤ کے فرق کی بحالی کا انحصار تازہ ہوا کی مقدار پر ہے، جو اس دباؤ کے فرق کے تحت خلا سے ہوا کے رساو کی تلافی کرنے کے قابل ہونا چاہیے۔ لہٰذا دباؤ کے فرق کے جسمانی معنی صاف کمرے میں مختلف خلا کے ذریعے ہوا کے رساو (یا دراندازی) کی مزاحمت ہے۔